合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 功能材料技术

> 基于模板掩模的沉积方法及在制造载有多功能可追溯代码的标签上的应用

基于模板掩模的沉积方法及在制造载有多功能可追溯代码的标签上的应用

1008   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:31
一种化学气相沉积方法包括下列步骤:提供高真空室,并且在高真空室内:放置基板表面;平行于基板表面放置掩模,其中掩模包括一个或多个开口;调节基板表面和掩模之间的确定的尺寸的间隙;和利用视线传播使至少一种前体物种的多个化学前体束朝向掩模取向,所述多个化学前体束中的每一个都从独立的点状源发出,并且化学前体的分子穿过一个或多个掩模开口撞击到基板表面上以沉积在其上。至少一部分化学前体分子在分解温度下在基板表面上分解。该方法还包括调节基板表面的温度使其高于或等于化学前体分子分解温度,从而保持高于掩模温度,并且将掩模温度维持在分解温度以下,从而导致在基板表面上但不在掩模上的化学前体的分解和膜的生长;和利用加热装置加热基板表面。
声明:
“基于模板掩模的沉积方法及在制造载有多功能可追溯代码的标签上的应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
功能材料
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 金属材料在芯片工艺上的作用 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 小知识 | 金属钼了解一下 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 金属百科 | 锑的历史与发展
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.120626s