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基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法

1262   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:04:01
本发明属于功能材料合成领域,具体涉及一种基于氧化钒(VO2)薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法,克服了VO2纳米线传感器测量误差大、制备工艺复杂以及应用难度大的缺陷。本发明基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器,包括聚酰亚胺薄膜、设置于聚酰亚胺薄膜上的平行金电极、覆盖于平行金电极上的VO2薄膜、以及覆盖于VO2薄膜上的聚二甲基硅氧烷;该呼吸传感器基于VO2薄膜实现,其结构简单、制备工艺简单、制备成本低,对呼吸频率、呼吸深度具有良好的监测,测量误差小;同时,本发明还提供该呼吸传感器的制备方法,该制备方法工艺简单、成本低廉,具有良好的工艺可控性和重复性,有利于大规模批量化生产。
声明:
“基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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