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低热导率高强度陶瓷基板材料及其制备方法

878   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:04:01
本发明公开了一种具有低热导率、高绝缘、高强度的陶瓷基板材料及其制备方法,属于电子信息功能材料与器件技术领域。所述陶瓷材料由主晶相材料和掺杂相材料经球磨混合、预烧、轧膜成型、烧结制成,包括主晶相Mg2SiO4和掺杂相Mg‑Al‑Si玻璃粉、ZrO2、Y2O3;各组分的质量百分比含量为Mg2SiO4 75~80%;Mg‑Al‑Si玻璃16~23%;ZrO2 0~1%;Y2O3 0~1%。与现有技术的同类陶瓷材料相比,本发明具有优良的性能:较低的热导率(<5w/m·k)、较高的绝缘电阻(>1014Ω·cm)、高的抗弯强度(>200MPa);本发明工艺简单可行,实现了此类基板材料大批量轧膜成型,使低热导率、高绝缘、高强度的陶瓷基板材料生产成为可能。
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