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CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法

906   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:05:02
一种CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法,属于功能材料技术领域。包括以下步骤:1)通过高分子辅助沉积法配制含钙钛的前驱液;2)将斜切的LaAlO3基片在800~1000℃下热处理1~6小时,得到表面为台阶结构的基片;3)采用旋涂法将前驱液均匀涂覆于步骤2)处理后的基片表面,烘干,得到含钙铜钛的薄膜样品;4)对上步得到的含钙铜钛的薄膜样品热处理,随炉冷却至室温,得到CaCu3Ti4O12薄膜。本发明通过不同斜切角度的斜切基片调控CCTO薄膜的应力,使得制得的薄膜的介电损耗明显降低;且方法简单,成本低廉,具有良好的工艺可控性和重复性,有利于大规模批量化生产。
声明:
“CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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