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石墨烯高温温度传感器

1289   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:05:02
本发明涉及高温测试技术领域,具体涉及一种石墨烯高温温度传感器。一种石墨烯高温温度传感器,主要结构包括:纳米膜、互连电极、衬底、密封环、封装外壳、陶瓷基板、引线柱。纳米膜由上下两层氮化硼与夹在其中的石墨烯组成,布置在衬底的下表面,衬底上表面刻蚀出多孔结构以加快热传导,互连电极由互连凸点键合互连焊盘组成,通过引线柱将检测单元与外部相连。采用Pt‑Pt金属键合技术使衬底与陶瓷基板形成真空腔,隔绝了纳米膜与外界的直接接触,为纳米膜提供无氧防护。氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜既是器件的功能材料,又是其结构材料。器件可以长期稳定工作在1700℃的高温,并且耐酸碱、抗腐蚀,适用于各种高温测试环境。
声明:
“石墨烯高温温度传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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