合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 功能材料技术

> 双位多靶离子束沉积装置

双位多靶离子束沉积装置

1076   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:09:02
本实用新型公开一种双位多靶离子束沉积装置,包括机架、真空镀膜室、激光器、主离子源、辅离子源、旋转靶座和基片架,真空镀膜室装设于机架上,主离子源、旋转靶座和基片架均设于真空镀膜室内,基片架夹设有基片,主离子源和旋转靶座均为两个,一个旋转靶座上安装有四种不同的靶材,基片架的中心线与两旋转靶座的中心线相互重叠,两主离子源分设于基片架的两侧,主离子源的发射口对准旋转靶座,辅离子源设置于真空镀膜室下方,辅离子源的发射口对准基片,真空镀膜室设有石英窗,激光器发出的激光束穿过石英窗射入靶材上。本实用新型能同时镀两种材料,形成合金材料,能实现新型理想的功能材料,提高镀膜质量,提高沉积效率。
声明:
“双位多靶离子束沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
功能材料
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 小知识 | 金属钼了解一下 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 金属百科 | 锑的历史与发展 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记