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旋转铬硅靶材

1049   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:09:02
本实用新型属于功能材料领域,涉及一种旋转铬硅靶材,其包括背管,背管外设有钎焊层,钎焊层外设有铬硅合金管;背管的一端设有内密封面和卡槽,背管的另一端设有定位槽和法兰。本实用新型安装方便省时,在长时间的工作过程中,能够稳定的旋转,均匀的溅射,不会产生起弧现象,并且杜绝了气孔和积瘤的产生;由于此靶材采用的是内密封方式,背管受力很小,几乎不会产生变形,避免了背管变形导致的靶材开裂现象。
声明:
“旋转铬硅靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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