合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 功能材料技术

> 半导体器件的制备方法

半导体器件的制备方法

996   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:11:01
本发明提供了一种半导体器件的制备方法,所述方法包括:提供基底,在所述基底上形成有若干相互间隔的核结构;将两两相邻的所述核结构归为一组,使用硬掩膜层至少填充一组所述核结构之间的间隙;在所述核结构的裸露侧壁上形成间隙壁,其中所述硬掩膜层沿所述核结构排列方向上的尺寸不同于所述间隙壁的厚度;去除所述核结构;以所述间隙壁和所述硬掩膜层为掩膜蚀刻所述基底,以在所述基底中形成尺寸不同的核图案。所述方法可以制备尺寸不同的图案,从而避免了现有技术中尺寸单一的图案,并且所述方法更加简单。
声明:
“半导体器件的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
功能材料
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记