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基于纳米复合材料的自驱动、自感知悬臂梁传感器

1294   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 16:37:03
本发明涉及一种基于纳米复合材料的自驱动、自感知悬臂梁传感器,其包括二氧化硅层、单晶硅层、压阻感知层、PZT驱动电极层、PZT层、PZT层驱动电极金属引线,PZT驱动电极层和PZT层形成U型结构,U型结构三面包围的空间铺有压阻感知层,压阻感知层的上端面设置有检测电桥电阻和压阻感知层金属引线,U型结构封闭侧的外侧铺有多晶硅纳米膜和二氧化硅纳米膜,利用多晶硅纳米膜优异的机械特性,减小悬臂梁弹性层的残余应力,提升多层复合结构的稳定性;通过嵌套式布局和阶梯式结构等合理设计,保证传感器的灵敏度和机械响应,推动精密传感器技术智能化、集成化应用进程,在保证检测灵敏度和重现性的基础上,提高悬臂梁传感器的集成化程度。
声明:
“基于纳米复合材料的自驱动、自感知悬臂梁传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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