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应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构

1263   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 18:03:16
本实用新型公开一种应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构,中频感应化学气相沉积炉是制备碳/碳复合材料的常用设备。重要部位的绝缘和气密性是设备运行的前提,感应线圈外部接口处的密封和绝缘是设备安全运转的关键。本实用新型通过采用环氧玻璃纤维绝缘连接件、环氧玻纤板等绝缘材质交替使用来保证良好的绝缘性,通过长短四氟管交替使用,中间还夹有耐高温橡胶垫圈,相互之间用耐高温硅酮密封胶来连接,最后用制螺母压实压紧来保证良好的密封性。
声明:
“应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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