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全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法

1268   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:23:46
一种全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法,属于新能源材料与器件技术领域。首先,清洗去除衬底表面的杂质;然后在衬底表面沉积一层具有高致密度、高导电性的TiN薄膜作为电子输运集流体材料,再通过调控沉积工艺参数改变薄膜表面原子扩散和形核生长等机制,在集流体上直接继续生长一层疏松多孔、低导电性的TiN薄膜作为电极材料。本发明集流体和电极同为TiN连续生长,通过简单地改变薄膜沉积工艺参数对材料的性能进行剪裁,工艺简便易行、成本低,薄膜沉积技术选择种类多、工艺适用性强,解决了异类集流体和电极材料间附着力差、晶格失配和热膨胀系数差异导致分层开裂以及接触电阻大的问题,将极大提高超级电容器的功率密度、热稳定性和长期服役可靠性。
声明:
“全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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