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钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器

1032   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:07:50
本实用新型公开了一种钽酸敏感元及应用其的红外热释探测器,包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本实用新型对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理,对于单个芯片而言,通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二,和底部金属电极共同构成了两个热释电探测器敏感元,顶部电极通过图案化处理,预留引线键合区域,降低工艺制程风险,通过磁控溅射进行钽酸锂敏感元的沉积代替研磨抛光法,简化了制备工艺,降低了制程难度,兼容半导体工艺,并且可以通过沉积得到厚度更薄的敏感元,探测器的响应性能更优异,在底部电极和衬底之间增加热绝缘膜层,可以降低钽酸锂敏感元的热损耗,提高器件对红外辐射的吸收和响应。
声明:
“钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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