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铌酸锂平面波导上的光电探测器及制备方法

1141   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:27:36
本公开提供了一种铌酸平面波导上的光电探测器及制备方法,自下而上分别包括铌酸锂平面波导本体、硅薄膜和叉指电极,所述铌酸锂平面波导本体自下而上依次包括铌酸锂衬底、二氧化硅层和铌酸锂薄膜,通过异质集成非晶硅薄膜的方式在LNOI上制备光电探测器,通过端面耦合的方法将光耦合到铌酸锂单晶薄膜中,利用光电探测器实现了对波导中传播光的探测,其暗电流低,制备简单,为LNOI上集成光芯片的实现探索了道路。
声明:
“铌酸锂平面波导上的光电探测器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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