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薄膜形成方法、薄膜形成装置及锂电池

1213   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:10:20
本发明的一个方式所涉及的薄膜形成方法包括在真空室内将金属膜形成在基材上的处理。所述锂金属膜的表面在所述真空室内被氧化。氧化后的所述锂金属膜的表面在真空室内被碳酸化。
声明:
“薄膜形成方法、薄膜形成装置及锂电池” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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