1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体是凸轮传动送料机构。
背景技术：
2.众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能，真空镀膜就是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法。
3.目前的真空镀膜机中设置有坩埚组件，工作时将送料组件中的sio2环送入坩埚组件，因此需要设置相应的送料机构将sio2环送入坩埚机构。
4.目前的送料机构虽然可以进行送料，但需要设置相应的驱动机构，而且需要相应的程序控制，保证随着坩埚组件的转动将sio2环稳定送入，结构复杂，成本较高。
技术实现要素：
5.本实用新型的目的在于提供一种凸轮传动送料机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.凸轮传动送料机构，包括：
8.送料组件，所述送料组件包括：
9.放料件，用于随坩埚组件上的坩埚转动而进行放料；
10.支撑件，用于支撑放料件。
11.作为本实用新型的进一步技术方案，所述放料件包括：
12.凸轮，固定安装在坩埚组件的坩埚外侧；
13.开合单元，设置在所述支撑件上并与其滑动连接，当开合单元打开时sio2环能通过，当开合单元关闭时，sio2环不能通过；以及
14.滑动设置在所述支撑件上的凸轮轴，所述凸轮轴一端与凸轮相配合，另一端与开合单元相配合，当凸轮与凸轮轴接触时，凸轮轴推动开合单元打开。
15.作为本实用新型的更进一步技术方案，所述开合单元包括：
16.第一开合页，一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接；
17.第二开合页，一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接，用于与第一开合页配合对sio2环的通过进行控制；
18.弹性件，设置有两个，一个弹性件一端与第一开合页伸出支撑件的一端相连，另一端与支撑件相连，另一个弹性件一端与第二开合页伸出支撑件的一端相连，另一端与支撑件相连。
19.作为本实用新型的再进一步技术方案，所述弹性件为拉簧。
20.作为本实用新型的再进一步技术方案，所述支撑件包括：
21.送料底座，用于安装放料件；
22.盖板，与所述送料底座配合。
23.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置送料组件使其随着坩埚组件的转动同步将sio2环逐个送入坩埚组件，无需设置额外的动
声明：
“凸轮传动送料机构的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：江苏葛西光学科技有限公司
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2025年06月20日 ~ 22日 
