权利要求
1.氧化锌镁靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1、按设计组分别取ZnO和MgO粉末原料；将所述ZnO粉末加入去离子水进行球磨处理6-12小时，使ZnO浆料中固体颗粒物的粒径为0.3μm～0.6μm，将MgO粉末加入去离子水进行球磨处理20-30小时，使MgO浆料中固体颗粒物的粒径为≤0.1μm；
步骤S2、对所述ZnO和MgO浆料分别进行喷雾造粒处理，得到不同粒径的ZnO和MgO的粉末颗粒，即ZnO粒径为0.3μm～0.6μm，MgO粒径为≤0.1μm；
步骤S3、对所述ZnO和MgO的粉末颗粒按照质量比(90～99％):(1～10％)进行混合，再加入去离子水、分散剂及粘接剂，进行第二次球磨混料5-10小时，获得氧化锌镁浆料，将所述氧化锌镁浆料在60-100℃条件下烘干，控制含水率为1-5％，获得氧化锌镁混合粉；
步骤S4、对所述氧化锌镁混合粉进行冷等静压处理，获得素坯；
步骤S5、在100～120℃的条件下，对所述素坯进行干燥脱水处理，保温时间2～7小时；
步骤S6、对干燥脱水处理后的素坯进行分段脱脂处理，以0.5-2℃/min升至250℃，保温1-3小时；1-3℃/min升至400℃，保温4-6小时；以0.5-2℃/min升至550℃，保温1-3小时；得到脱脂后的素坯；
步骤S7、对所述脱脂后的素坯进行分段烧结处理，以5-15℃/min迅速升至550℃，不保温；0.5-2℃/min升至750℃，保温1-3小时；以0.5-2℃/min升至950℃，保温1-3小时；以0.5-2℃/min升至1150℃，保温1-3小时；以0.5-2℃/min升至1350℃，用120～300min缓慢升至1450℃，不保温，直接随炉冷却到室温，获得氧化锌镁靶材半成品；
步骤S8、对所述氧化锌镁靶材半成品进行机加工切割，表面打磨，尺寸修整，获得满足尺寸要求的靶材成品。
2.根据权利要求1所述的氧化锌镁靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述ZnO和MgO粉末原料的体积比为1:2与去离子水混合；所述将所述ZnO粉末加入去离子水进行球磨处理6-12小时后，含ZnO的浆料中固相体积分数为40～60％；所述将MgO粉末加入去离子水进行球磨处理20-30小时后，含MgO的浆料中固相体积分数为50～
声明：
“氧化锌镁靶材及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1593
编辑：中冶有色网
来源：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年07月09日 ~ 11日 
