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层状电磁薄膜功能材料鼓包试样的制备方法

606   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:30
本发明公开了一种层状电磁薄膜材料鼓包试样的制备方法。该方法首先采用湿氧化法和机械加工法对单晶硅薄片进行处理，获得一面为单晶硅表面，另一面为带特定盲孔的二氧化硅表面。然后在单晶硅面沉积电磁薄膜材料，并完成高温退火。再使用有机硅胶将沉积薄膜材料的那面粘结到一个带有圆孔的石英片衬底上，再密封样品表面，只暴露出盲孔区域。然后将其放入到氢氧化钾溶液中进行腐蚀，使得盲孔区域底部剩余的基底发生化学反应。根据预先标定好的腐蚀速率来确定腐蚀时间长短，直至把该区域的单晶硅腐蚀掉，完全露出样品另一面沉积的薄膜。然后对其清洗、干燥和去除有机硅胶，最终获得带独立支撑窗口的层状电磁薄膜材料鼓包样品。
声明：
“层状电磁薄膜功能材料鼓包试样的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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