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微半环凹模阵列化学-机械分级复合制造方法

1110   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:31
一种微半环凹模阵列化学-机械分级复合制造方法,包括如下步骤:1)制作精密球阵列研抛模;2)第一级研抛:采用精密球阵列研抛模,通过化学-机械加工方法实现微凹模阵列的形状构型;3)第二级研抛:采用所述精密球阵列研抛模进行第二次研抛,通过调整超声振动的参数和Z向进给参数,使得工件的材料去除形式转变为材料塑性去除,降低研抛液中HNA溶液的浓度,减缓HNA溶液对功能材料的化学腐蚀速度;第二次研抛材料去除形式是微细超声振动下的材料塑性去除和HNA溶液对衬底材料的缓慢化学腐蚀作用,可以对微凹模进行修形和表面质量提升。本发明的加工效果:高形状精度、低表面粗糙度、高表面质量、高效率。
声明:
“微半环凹模阵列化学-机械分级复合制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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