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铝材表面的类金刚石覆膜改性方法及其装置

1027   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:13:39
本发明公开了材表面的类金刚石覆膜改性方 法及其装置。装置包括绝缘体反应室,反应室与化学气相沉积 的供气系统及真空系统相连通,在反应室内有陶瓷围成的封闭 室和两块上下平行的电极,其中上电极位于封闭室中,其下表 面紧贴封闭室的底板面,与等离子体激发脉冲电源相连,下电 极接地并固定在封闭室外的加热器上,供气管的喷嘴位于两平 行电极间。采用该装置以 C2H6、H2、Ar组成的混合气体 为反应源气体,在铝材表面涂覆类金刚石(DLC)薄膜。本发明 工艺简单、成本低,实现了在铝材表面涂覆类金刚石薄膜,大 大提高了Al/DLC复合材料的表面硬度、耐腐蚀性和电绝缘性 等综合性能。且成膜速度快,膜厚可达4-6μm而不脱落,结 合牢固。
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