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阀及半导体制造装置

1023   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:35:18
提供一种阀及半导体制造装置,其即使在高温下使用也不会产生烧熔等而能够长时间使用,并且不会污染腔室内。阀(1)具备:增力机构(30),其增大驱动力;第一阀杆(25)及第二阀杆(26),其承受增力机构(30)增大的力进行移动;以及隔膜(11),其能够对流体通路(2b、2c)进行开关。增力机构(30)具备:保持器(31)及轴承(32);轴(33),其两端支撑于轴承(32);以及臂(34),其被轴(33)支撑成能够摆动,并具有承受驱动力的外端部(34C)和增大驱动力并向第一阀杆(25)传递的内端部(34B),在保持器(31)、轴承(32)、轴(33)以及臂(34)中,构成利用臂(34)的摆动而产生的滑动部的轴(33)的两端部和轴承(32)之中,轴承(32)由碳纤维复合材料构成。
声明:
“阀及半导体制造装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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