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分流式CVD沉积室

1005   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:59:50
本实用新型分流式CVD沉积室涉及复合材料制备领域,具体涉及化学气相沉积,特别涉及一种分流式CVD沉积室,包括中空的沉积室筒体和进气室,所述进气室内设置有一进气管,沉积室筒体的一端与进气室相连,另一端上设置有一沉积室盖,所述沉积室盖上设置有一出气口,所述分气板上均布有若干个进气孔,所述分气板上还设置有一引气装置,气体提升装置设置在分气板上,且通过分气板上的进气孔与进气室相连;气体分布装置位于气体提升装置上方。本实用新型结构简单,沉积效率高、制品增密快,利用气体提升装置和气体分布装置将进气管中的气流提升,有效解决因高度不同而带来的制品增密情况不均匀的问题,且生产效率高,降低生产成本。
声明:
“分流式CVD沉积室” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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