基础金属	铜电解铜铜精矿铜管铜棒废铜铜排铜合金精铜杆再生铜杆铜板带铝铝土矿氧化铝电解铝铝辅料铝棒铝合金锭废铝铝杆铝型材铝板卷铝板铅铅精矿铅锭铅蓄电池再生精铅还原铅废铅蓄电池铅合金锌锌精矿电解锌锌合金氧化锌锌粉锡锡精矿锡锭锡材
小金属	钨钨精矿 APT(仲钨酸铵)钨粉碳化钨钨酸钠钨条钨铁钨材废钨钛钛精矿钛渣四氯化钛海绵钛钛金属钛白粉镁兰炭硅铁镁锭镁合金镁粉锗镓铟锑铋硒钽铌锆铪
新能源	锂锂矿锂化合物金属锂镍镍矿镍铁精炼镍镍盐高冰镍 MHP 钴电解钴钴粉氯化钴四氧化三钴硫酸钴钴中间品氧化钴碳酸钴钴酸锂锰锰矿电解锰电池级硫酸锰锂电池三元前驱体隔膜磷酸铁电解液正极材料电芯石油焦针状焦包覆沥青人造石墨硅碳负极硅氧负极硅硅石有机硅硅粉三氯氢硅工业硅再生硅光伏多晶硅硅片电池片组件组件成本指数海外组件废旧组件
其他金属	稀土稀土矿稀土氧化物稀土金属钕铁硼白银金

基础金属

铜电解铜铜精矿铜管铜棒废铜铜排铜合金精铜杆再生铜杆铜板带铝铝土矿氧化铝电解铝铝辅料铝棒铝合金锭废铝铝杆铝型材铝板卷铝板铅铅精矿铅锭铅蓄电池再生精铅还原铅废铅蓄电池铅合金锌锌精矿电解锌锌合金氧化锌锌粉锡锡精矿锡锭锡材

小金属

钨钨精矿 APT(仲钨酸铵)钨粉碳化钨钨酸钠钨条钨铁钨材废钨钛钛精矿钛渣四氯化钛海绵钛钛金属钛白粉镁兰炭硅铁镁锭镁合金镁粉锗镓铟锑铋硒钽铌锆铪

新能源

锂锂矿锂化合物金属锂镍镍矿镍铁精炼镍镍盐高冰镍 MHP 钴电解钴钴粉氯化钴四氧化三钴硫酸钴钴中间品氧化钴碳酸钴钴酸锂锰锰矿电解锰电池级硫酸锰 锂电池三元前驱体隔膜磷酸铁电解液正极材料电芯石油焦针状焦包覆沥青人造石墨硅碳负极硅氧负极硅硅石有机硅硅粉三氯氢硅工业硅再生硅光伏多晶硅硅片电池片组件组件成本指数海外组件废旧组件

其他金属

稀土稀土矿稀土氧化物稀土金属钕铁硼白银金

通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法

1273 编辑：管理员来源：北方有色网

2023-03-18 15:02:30

一种通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法，该方法包括：在衬底上生长电热绝缘材料层及再淀积第一功能材料层；旋涂光刻胶作为牺牲层，光刻，形成条形的光刻胶掩模；通过干法刻蚀第一功能材料层至电热绝缘材料层的上表面，使第一功能材料层形成条形结构；淀积第二功能材料层；旋涂SU-8胶并电子束曝光，在条形的光刻胶掩模结构上部，制备出纳米量级的条形胶条，该条形胶条垂直并跨越条形光刻胶掩模；用该条形胶条做掩模，干法刻蚀第二功能材料层至电热绝缘材料层的表面；去除光刻胶掩模，暴露出第二功能材料层下方以外的第一功能材料层，使第二功能材料层下方形成一个悬空结构；干法刻蚀去除条形胶条下方以外的第一功能材料层；超声-剥离，完成制备。

声明：

“通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。

我是此专利(论文)的发明人(作者)