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高比表面积的TiN电极、制备方法及其应用

983   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:32:59
本发明属于新能源技术领域,提供一种高比表面积的TiN电极、制备方法及其应用。主要是通过硅片制绒工艺对硅衬底表面进行粗糙化处理,在衬底材料表面形成由多个密排微米级金字塔组成的微观粗糙结构,使沉积在衬底上的TiN电极的比表面积增大,导致其电化学电容性能显著提高。这种高比表面积的TiN电极具有广阔的应用前景,例如,可用作微型超级电容器的电极材料。本发明能够保证其他工艺过程不变的条件下,克服了原来光滑电极电容性差、活性低等缺点,此制造技术与微电子工艺兼容,方法简便可行,成本低廉,且经济效益显著。
声明:
“高比表面积的TiN电极、制备方法及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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